六氟乙烷 (Hexafluoroethane)

六氟乙烷（C₂F₆），也称为R116，是一种无色、无味、无毒的气体，属于全氟化碳类化合物。它具有优异的化学稳定性和热稳定性，是重要的工业气体之一。

六氟乙烷在半导体制造中用作等离子体蚀刻气体，能够精确控制蚀刻深度和形状。在制冷系统中，它作为环保制冷剂使用，具有零臭氧消耗潜势（ODP）。在医疗设备中，六氟乙烷用作造影剂和麻醉剂的载体气体。由于其优异的绝缘性能，也用于高压电气设备中。