八氟环丁烷 (Octafluorocyclobutane)

八氟环丁烷（C₄F₈）是一种无色、无味的气体，在常温下为气态。它具有优异的化学稳定性和热稳定性，是重要的工业气体之一。

八氟环丁烷在半导体制造中用作等离子体蚀刻气体，能够精确控制蚀刻深度和形状。在平板显示器制造中，它用于清洗工艺。在太阳能电池制造中，八氟环丁烷用作清洗气体。由于其温室效应潜势较高，在使用时需要严格控制排放和回收。