三氟甲烷 (Trifluoromethane)

三氟甲烷（CHF₃）是一种无色、无味的气体，在常温下为气态。它具有优异的化学稳定性和热稳定性，是重要的工业气体之一。

三氟甲烷在半导体制造中用作等离子体蚀刻气体，能够精确控制蚀刻深度和形状。在制冷工业中，它用作制冷剂（R23）。在电子工业中，三氟甲烷用于清洗工艺和蚀刻工艺。由于其温室效应潜势较高，在使用时需要严格控制排放和回收。