锗烷 (Germane)

锗烷（GeH₄）是一种无色、易燃的气体，在常温下为气态。它具有强还原性，是重要的半导体制造气体之一。

锗烷在半导体制造中用作化学气相沉积（CVD）的源气体，用于生长锗薄膜。在太阳能电池制造中，锗烷用于沉积锗层。在平板显示器制造中，锗烷用于沉积锗薄膜。由于其易燃性和毒性，在使用时需要严格的安全措施。