硅烷 (Silane)

硅烷（SiH₄）是一种无色、易燃的气体，在常温下为气态。它具有强还原性，是重要的半导体制造气体之一。

硅烷在半导体制造中用作化学气相沉积（CVD）的源气体，用于生长硅薄膜。在太阳能电池制造中，硅烷用于沉积非晶硅层。在平板显示器制造中，硅烷用于沉积硅薄膜。由于其易燃性和毒性，在使用时需要严格的安全措施。