SF₆
六氟化硫 (Sulfur Hexafluoride)
无色、无味、无毒的气体,用作绝缘气体和蚀刻气体
运输信息
D.O.T. 运输名称
六氟化硫,压缩
名称
Sulfur Hexafluoride
ID编号
UN1080
危险等级
2.2
运输标签
非易燃气体
技术信息
分子量
146.06
比容
2.8 ft³/lb
CAS注册号
2551-62-4
SDS参考
六氟化硫
关于
六氟化硫(SF₆)是一种无色、无味、无毒的气体,在常温下为气态。它具有优异的绝缘性能和化学稳定性,是重要的工业气体之一。
六氟化硫在电力工业中广泛用作高压开关设备的绝缘气体,具有优异的绝缘性能和灭弧能力。在半导体制造中,它用作等离子体蚀刻气体,能够精确控制蚀刻深度和形状。在医疗设备中,六氟化硫用作造影剂。由于其温室效应潜势极高,在使用时需要严格控制排放和回收。
产品等级
等级
-
最低纯度
99.9%
等级代码
-
目录编号¹
SF6-
最大杂质规格(按体积ppm计)// 除非另有说明²